干法第五章总结6篇干法第五章总结 第36卷2008年9月第9期聚氯乙烯PolyvinylChlorideVol.36,No.9SeP.,2008千法乙块技术总结常炳杰&下面是小编为大家整理的干法第五章总结6篇,供大家参考。
篇一：干法第五章总结
6卷2 0 08年9 月第9 期聚 氯 乙 烯Polyvinyl Chlo rideVol.3 6,No.9SeP.,200 8千法乙块技 术 总 结常炳 杰‘,杨秀岭,唐鹏跃,杨清泉(新龙 电化集团,山东 寿光 2 627 0 9 )〔 关键 词〕干法 乙炔;实物投料;技术;指标〔 摘要〕 介绍了新龙电化集团干法乙炔工艺从实验装置实物投料到标准化装置库续运行中发现的问题及解决的方法。[ 中图分类号ITQ32 5.3[文献标志码〕A[文章编号〕10 ()9 一7 937(20()8)〔 )9一0(, 1 1一()4Sum ma ryo nthedryg en e r ating te chn ologyofa e etyle n eCHA N G Bing一ji。,、 恤N G Xiu一ling,T A N G Pe ng一 夕u e,y A N G g ing一叮u a n(X inlo ng Ele etr o ehem ie al Gr o uP,S ho ugu a ng 2 627 0 9,Chin a)Key wo rds :a e etyle n ege n e r ated by dry method; s ubsta n tial f eed ing;te ehn olog y ;inde xA怡饥以:n ℃bl~几u nd f romth c阁a比t y le n e厅以c n习~场柳岛io ni ne习 不”n翻切l de访c e t oth ec o n ti~ ~n g o f由怅坛d 浅Nic ef o rge n.On gn 飞改橄月~int re dt龙e da sw c llth es o l u t io n s.新龙电化集团 聚氯乙烯公司(简称新龙电化公司)在同行业中率先进行了干法乙炔工艺的研发,并进行了工业化生产。干法乙炔实验装置 于 20 06年6 月开始安装,8月 2 3日发生 器进行第1次实物投料实验,经 历 了多次投料、调试、工艺修改后,1 0月实验装置 开车成功进人连续运行。200 7年6 月新龙电化公司在实验装置 运行经验的基 础 上,进行了标准化干 法 乙炔装置的设计安装,8月标准化装置投料开车,并一次投料开车成功。现将干法乙炔工艺的调试、改进及 运行情况进行总结,供 同行参考。1千法乙炔工艺干 法 乙炔使用略多于理论量的水以雾状喷在电石粉上使之水解,产生 的 电 石渣为水含量很低 的干粉末;粗乙炔 中水蒸气分压为0.07 8 kP。;反应 温度气相为 8 5 一9 5℃,固相 温度为9 5~10 0 ℃;水与电石的加人量比为(1.0一1.1):1;反应热由水汽化带走,经由非接触式换热器传给循环水;电石的水解率> 9 9.0%,乙炔收率> 9 8实验装置的初次实物投料运行.5%。22 以沁年8月 2 3日,实验装置安装完毕,在进行最后1次系统全面检查后,启动开车程序。程序启动后,因电石破碎机过 电流跳闸而停车。停车后,检查 破碎系统,发现破碎机进料量过大,其原因是粗电石 盘式给料机参数设定过大。调整粗电石盘式给料机的给料量后再次启动程序,初次投入电石量为3.5t / h,电石与水的加人量比为1:1.3。电石与水开始反应后,发生器温度由室温逐渐上升到9 4℃,发生 器内压力由常压逐渐上升到 1 2kP a,之后发生 器内的温度与压力一直稳定,未见提高。运行 3 0m i n 后发生器底部的出料器 开始排出电石渣,其用皮带机输送到发 生 厂房外;5 m i n后,发生器中的乙炔气冲破料封 自排渣 机出口喷出,操作人员按下紧急停车按钮后装置停车。研发小组成员召开 了第1次实物投料总结会议,根据发生器运行 3 5而n的情况认为:¹ 干式发生器内部反应温度在安全范围;º 干式发生器内部反应 压力在安全范围;» 电石的供料系统暂时没发现问题,在第2次开车之前不需修改水质量分数为 1 0 % 一2 0 %;¼ 电石与水的加人量比确定为1:1.3,电石渣 的含;½ 发生 器底部料封 不能封住发生器内压力为 1 2kP a 的乙炔气,容易喷出,这也是影 响干法 乙炔发生 器安全运行 的关键问题,须进行改进;¾ 仪表显示不够准确;¿ 不同厂家生产的发气量 不同的电石对发生器的影响很大。3实验装置的改进在发生器中通过 电石实 物投料,对 干法发生器运行 的安全可靠性有 了进一步的了解。随后,新龙电化公司对排渣机进行 了多次改 造,并进行了实物投料运行调试。根据现场掌握的情况进行分析,发现 乙炔气密封不住的原 因是发生器最底层 电石渣易出现膨料现象。随着排渣机螺旋叶片 的不停旋转,排渣 机内的 电[收稿日期12 0 0 5 一0 1 一 2 0〔 作者 简介〕常炳杰(19 70一),男,助 理工程师,现任新龙电化集团聚氯乙烯有 限公 司经理。
} l} 撇撇 姗 姗聚 氛 乙 烯2008年石渣越来越少,不能在排渣机内挤压形成料封。针对这一情况,研发人员在发生器搅拌轴的下端增加了搅拌装置,破坏发生器底部电石 渣形成的膨料现象,同时在排渣机的出渣端加设了自动调节气缸式密封端盖,用排渣机电流来控制气缸密封端盖 的开启度,自动调节排渣机的排渣压力,挤压排渣机内电石渣,使其密度增大形成密封段,能有效地阻 止 乙炔气的泄漏外逸。形成了阻止 乙炔气泄漏的密封段,但电石渣在排渣机的密封段被挤压成坚实的硬块,短时间运行排渣器就会停车。新龙电化公司的技术人员经过几次开停车的实验摸索,决定在排渣机螺旋的末端加设破碎叶片,破碎被挤压坚实的电石渣,解决了排渣机停车的问题。在调试过程中,破碎后电石的筛选设备-一一滚筒转筛连续运行的可靠性低,经常发生筛孔眼堵塞,导致发生器中电石加人量越来越少,最初为7t / h,随着筛孔的不断堵塞慢慢降低到3t/ h,最后要停车人工疏通筛孔,发生器因此也不能连续稳定运行。研发人员经过多次实验,将转筛的筛孔由圆孔改为长条孔后,筛孔堵塞、产量降低的现象有所缓解,延 长 了发生器连续运行的时间,但仍未能彻底解决筛孔堵塞的问题。经过研发人员的不断努力,最后确定采用一种特殊的筛网,解决了筛孔堵塞问题,使发生器供料系统连续运行。随着调试次数不断的增加,不断地解决了设备、工艺及设计方面出现的问题,干法 乙炔发 生器连续运行的周期也越来越长,由最初的3 5m i n 提高到连续无故障运行。在实验装置的调 试 运行过 程中,新龙电化公司对干法 乙炔发生器实验装置的运行指标进 行了确认。电石与水的加人 比为1:(1.3 0 ~1.7 ( )),电石渣的含水质量分数为1 0 % ~ 2 0 %,乙炔气体积分数为) 9 9 %气温度为40~ 6 5发生 器搅拌器的运行电流为 2 ( ),发生器运行温度为85~ 9 5℃,冷却后 乙炔℃,发生器运行压力为3.3~15.0kPa,~2 5A。4干法乙炔发生器标准化装置的运行标准化 干式乙炔 发 生器及其配套附属设备在实验装置 的基 础上 又进行了进 一步的优化改进,工艺更加合理,操作方 法 更加简单,安 全系数进 一步提高,电石 渣含水质量分数 由实验装置 的 1 0 % ~ 2 0 %降低到3 % 以 下实验装置 的3 ~5t /龙电化公司 运行的2 台干式乙 炔 发 生 器能够满足,单 台乙炔 发 生 器的电石加人 量 由h 提高到 1 ( ) ~ 1 2t / h。目前,新22万t/。p v C装置 的需求。标准化干式乙炔发 生 器 运行指标:电石加人量10t / h,电石 粒 径 成5 m m,电石与水的加人 量 比为1:(1.0~1.1),干法 乙炔发 生器温 度 8 5 ~ 9 5℃、压1 2力3.3~25.0 k Pa,冷却后乙炔温度40~ 6 5 ℃,乙炔收率> 9 8率) 9 9 %.5 %,乙炔气体积分数> 99.2 %,电石水解,电石渣含水质量分数簇3 %。标准化干式乙炔发生器产生的电石渣水含量 极低,如无后续深加工或加湿处 理,过大的扬尘会给周围环境造成极大的二 次 污染。目前,新龙电化公司暂无干粉电石渣的深加工装置,所 以对电石渣进行了加湿处 理,消除了干粉因扬尘带来的环境污染。建议配套以干粉电石渣为原料的水泥项目。干粉电石渣制水泥无需干燥,工艺简单,将矽铁等分离后直接送 进混料仓即可,简化了水泥 生产工艺,节省设备和能源,成本低,操控方便。5从实验装置投料 试 车到标 准化 装置连 续无故障运行出现 的部分 问题及改进干法乙炔装置自研发、实物投料、调试改进运行至今,历时一年半,研发人员不断改进装置在运行中出现的工艺、设备 的缺陷,更新工艺设计理 念,完善安全保障设施,操作人员水平日趋提高,标准化干法乙炔装置 已连续、安全、稳定 的运行,完全能代替传统的湿法乙炔发生 器进行生产。5.1更新工 艺设计理念干法乙炔装置开车初期不能连续运行,与工艺设计有关。干法乙炔工艺在设计与模拟实验初期是以生石灰代替电石进行的,电石与生石灰 的物理化学性质有很多不同之 处。实验装置开车投料后,以生石灰的物理化学性质为依据设计的工艺影响了发生 器的运行。如,¹ 发生器的进料螺旋计量输送器对电石的加人量计量不准确;º 发生器搅拌耙齿经常被电石渣糊成“圆棒”,特别是遇到发气量差异较大的电石进人发生器时尤为严重,耙齿起不到搅拌输送的作用,这是工艺设计时没有考虑到的问题;» 发生器边缘下料通道极易堵塞,运行时间不长就须停车清理;¼ 排渣机经常停车;½ 发生器及洗涤塔的水管、喷头经常被堵塞,影响发生器的需水量及乙炔气的洗涤,乙炔气冷却后温度高;¾ 发生器底部排渣单元有时不能形成可靠的密封段,造成乙炔气喷出,存在很大的安全隐患,这一状况与当初设计时预想的也不同。通过反复研究后,改变了设计时模拟投料实验的工艺理念,进行了相应改进、调整。¹ 用破碎到符合发生器标准要求的电石重新校正了螺旋计量输送器 的输送参数,确保电石加人量 的准确性。º 标准化装置调整 了电石在发生器内的布料形式,减少 了发 生器 内的托板层数,改变了耙齿形式,调整了电石与水的加人量比,使完全水解后 干电石 渣含水质量分数由原来的1 0 %一2 0 %降至4% 以下。通 过标准化 干法 乙炔装置
第9期常炳杰等:干法 乙炔技术总结运行情况可 知,解决了糊耙齿、堵塞边缘下料通 道、排渣器停车等问题后,发生器能够适应不同发气量的电石。» 发生器用水采用废NaC IO溶液,并加设过滤器;洗涤水采用密闭循环方式,并适时将洗涤下的渣浆从洗涤塔底部排出,延长了喷头的使用时间,标准化干法乙炔装置运行3个月,洗涤水管无堵塞。从工艺设计上解决了因阻碍设备而不能连续运行的问题,为干法乙炔装置的长期、稳定、连续运行提供了理论依据。5.2发生器机构及 附属设备的改造设备的连续、稳定运行是检验该套装置成功与否的关键,实验装置运行时设备暴露出许多缺陷,在标准化装置设计中都逐 一进行了改进。(1 ) 发生 器边缘下料通道 由托板外侧距离发生器内壁2 0cm周边下料改为在托板的外侧处设直径30cm 的4个下料 圆孔,避免了发生器 内壁结垢堵塞下料通 道。调 整 了发生器 内托板的角度、耙臂及耙齿的角度,更有利于 上 层托板的物料向下层托板流动,进一步降低了搅拌轴的功率。(2 ) 发生器内喷水层由多层喷水改为两 层喷水,在保证电石 反应水解率的同时解决了发生 器底部电石渣易含水分过多而造成搅拌轴功率过高、排渣机功率过大容易停车的问题。( 3 )排渣机 的改进。在该装置运行中,发现当电石 渣含水质量分数在3% ~ 1 0 %时,电石 干渣极易在排渣机密封段处挤压成块。当电石渣含水质量分数簇1%时,乙炔气又易冲破料封而喷出。多次观察分析后设置为30,将原排渣机螺旋绞龙缩短 l ( )Cm,将密封段cm,终端由气缸式挡板改为锁气器,锁气器采用变频控制,可自动调节出料速度。改造后,电石渣含水质量分数簇1%时,排渣 机未出现异常问题,能 够形 成有效的密封段 且 能 及 时、均匀 出料,配用 的电机功率由45 kw 减小 到30 kw。( 4 )发生器及洗涤塔喷头 的改造。电石 能否完全水解,粗乙炔中携带的 电石粉尘、杂质能否充分洗涤,喷头起着关键性的作用。装置运行前期喷头易堵塞,对所堵物质充分分析后,发现堵塞由两种原 因造成:¹由于开停车频繁或水压小造成电石泥 由外向内将喷头包裹住,º 由铁锈等杂质堵塞喷头及水管。对此,新龙电化公 司进行 了相应改 造:¹ 发生 器及洗涤塔用水管道加装过滤器过滤杂质;º 用水管道材质全部更换为不锈钢;» 由小号喷头更换成中号喷头。改造后,停车检查时发现喷头堵塞物明显减少。( 5 )乙炔出气管改造。实验装置中由发生器到洗涤塔之间的乙炔气管道易积聚电石灰而堵塞出气口,造成乙炔气出气不畅,发生器压力升高,运行2周左右须停车清理。缩短了标准化装置 出气管道的长度,调整 了出气管道中洗涤喷嘴的角度后,将夹带电石灰的乙炔气充分洗涤后送出,解决了出气口电石灰易积聚的问题。( 6 )电石提升机由皮带式改为链条式。皮带式提升机运行时易跑偏,导致吊斗与提升机筒壁产生碰撞与摩擦,运行不长时间就出现多个吊斗脱落、紧固吊斗的螺栓将螺栓孔周围的皮带撕裂、提升机筒壁磨穿等现象。改为链条式提升机后,提升机运行稳定、不跑偏、吊斗不易脱落、易检修,运行4个月以来无不正常现象发生。(7 ) 干式乙炔发生器对电石的粒径要求比较高,电石粒径必须簇5 m m才能进入发生器。采用锤式破碎机破碎电石时普通材质的锤头使用时间不长就严重磨损,更换锤头比较频繁。经 过探索,找到了能够适应破碎机锤头 的耐磨合金材质,提高了破 碎能力,解决了破碎机锤头磨损快、寿命短的问题。( 8 )实验装置的电石 渣含水质量分数为10% 一2 0 %,电石渣自排渣 器排出后用敞开式皮带机直接输送到室外,无扬尘现象;标准化装置产生的电石渣含水质量分数为< 3%,电石渣排出后采用 了密闭输送方式,避免了对周围环境的二次污染,属清洁化生产。6存在 的问题及改进措施( 1 )发生器及洗涤塔内的喷水水嘴在长时间运行后仍然存在缓慢堵塞现象,须停车置换发生器后打开人孔盖进行更换。目前,新龙电化公司已研发出能够在线更换的喷水水嘴,装置运行中可不停车在线更换水嘴。( 2 )发生器 出气...
篇二：干法第五章总结
第五章：追求“完美主义”——怎样才能出色工作
第五章 追求“完美主义” ——怎样才能出色工作目录1、 出色的工作产生于“完美主义”2、 成败取决于“最后1%的努力”3、 橡皮绝对擦不掉的错误4、 最重要的是“注重细节”5、 制作“会划破手的” 崭新的产品6、 事先“看见完成时的状态” 就定能成功7、 抓住一切机会磨炼“敏锐度”8、 不是“最佳” ， 而是“完美”9、 后记
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作◇点马虎都不能允许。
任何时候都要求100%的“完美主义” 。要完成一个产品， 99%的努力是不够的。
一点差错， 一点疏忽， 一◇ “完美主义” 不是“更好” ， 而是“至高无上” 。
这就是我在工作中不断追求的目标。每当轰炸机起飞时， 维修员也要随机飞行。
但奇怪的是， 几乎所有的维修员都不乘坐自己维修过的飞机， 而是乘坐别的维修员同事维修保养的飞机。
这是为什么呢？因为虽然自己在维修保养时竭尽全力， 但却没人敢对自己的工作完美程度充满自信。对于我来说， 每一天的工作我都是“真刀真枪” 地干， 这样天天积累， 我一定会对自己的手感、 技术拥有自信。“完美主义” 就是在每天认真的工作和生活中产生的。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作1、 出色的工作产生于“完美主义” 我有一位叔叔是海军航空队的飞机维修员。
这位叔叔从战场归来后跟我讲过一番话， 我至今记忆犹新。 当时， 每当轰炸机起飞时， 维修员也要随机飞行。
但奇怪的是， 几乎所有的维修员都不乘坐自己维修过的飞机， 而是乘坐别的维修员同事维护保养的飞机。
这是为什么呢？ 因为虽然自己在维修保养时竭尽全力， 但如果被问道：
“你做的万无一失吗？ 完美无缺吗？ ” 却没人敢充满自信地回答“是” 。
正因为对自己的工作缺乏充分的自信， 考虑到万一情况， 所以维修员们都选择乘上同事负责的轰炸机。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作1、 出色的工作产生于“完美主义” (续上） 我还听过类似的事情。
自己的子女、 妻子、 父母患重病， 许多医生都不愿亲自诊断， 因为他们也缺乏自信。
亲人要动手术时更是如此， 往往委托自己信任的医生动手开刀。
我们常听到的理由是：
“因为亲人的骨肉之情， 自己开刀的话， 动手之前， 手就会发抖。
” 但我不认同这个理由。 这种情况， 是因为医生们对自己缺乏自信。 如果我是外科医生， 当亲人们需要做手术时， 我不会委托人任何人，必定亲手执刀。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作1、 出色的工作产生于“完美主义” (续上） 为什么？ 因为对于我来说， 每一天的工作都是“真刀真枪” 地干， 我都会从正面面对， 这样天天积累， 我一定会对自己的手感、 技术拥有自信。
“完美主义” 只有在每天认真的工作和生活中才能产生。 要求每天的工作都要追求“完美” ， 这很苛刻， 也很困难。
但是如果你真心想把事情做得令人满意， 除了 竭力做到“完美” 之外别无他法。 （温馨提示：
本小结结束）
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” 我从年轻时开始就把贯彻“完美主义” 作为信条。 一方面， 这是我与生俱来的、 先天的性格。
另一方面， 这也是从我从事产品制造的经验中学来的， 是后天形成的观念。 在制造产品的过程中， 哪怕99%都很顺利， 但只要最后的1%因疏忽而出了问题， 那么前面所有的努力都会前功尽弃。
这样的事情时常发生， 特别是新型陶瓷的制作， 只要一个小差错， 很小的一点粗心， 就会造成致命的失败。
这种事情绝不少见。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” （续上） 新型陶瓷的制作， 需要按比例将粉末状态的金属氧化物——氧化铝、氧化硅、 氧化铁、 氧化镁等原料混合后， 放在模具内加压成型， 然后在高温炉中烧结， 出炉的半成品还要进行研磨， 对表面进行金属加工处理。
完成一个产品需要许多道工序， 而且每道工序都需要精细的技术， 每位员工工作时都必须全神贯注。 因此， 要完成一个产品， 99%的努力是不够的。
一点差错， 一点疏忽， 一点马虎都不能允许。
任何时候都要求100%的“完美主义” 。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” （续上） 如果懈怠了 最后1%的努力， 就会产生不良品， 那么， 材料费、 加工费、 电费不说， 前面各道工序所花费的时间、 精力、 智慧， 所有一切也都全部泡汤。
在多道工序中只要有一道工序出现微小的缺陷， 之前的全部努力都化为泡影。
同时， 还会让等候着产品的客户蒙受巨大损失。 京瓷生产的电子工业用各类陶瓷零件， 几乎全都是按客户订单生产的。
客户都是电器厂家， “我们机器中的重要零件， 要使用你们京瓷生产的新型陶瓷， 请按这种规格制造， 要求你们X月X日交货。
” 我们的销售员就这样从客户处获得订单。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” （续上） 客户机器装配的日程安排， 与京瓷提供的配件交货期是紧密相连的，京瓷必须严格遵守预定的交货期。
在生产过程中只要发生一点点差错， 承诺的交货期无法兑现， 就是违约， 那将损害公司的信誉。
例如， 临近交货期了 ， 因工作不到位而产生了不良品； 如果该产品的制造周期是两个星期， 而问题又发生在最终出货阶段时， 就意味着要再花两个星期去重新再制造产品。 如果真是这样， 销售员就得立刻向客户解释， 并且一个劲儿地低头道歉， 请求再宽限两个星期。
这时往往会遭到客户的严厉训斥：
“产品委托给了你们这样的公司， 就要连累我们整个生产线停产吗？ ” “再也不会和你们这样的公司做第二次生意了 ！
”
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” （续上） 我们的销售员， 一个大男人遭到如此责骂， 哭着鼻子狼狈而归。
这样的事情真的发生过。 这些痛苦的经验使得“工作一定要追求完美主义” 的理念渗入我的骨髓。 为了 防患于未然， 自始至终， 我要求每个人的神经都必须高度集中，注意到事情的方方面面。
除此之外别无他法， 我要求员工无论什么细节都要精心对待。 这种将意识高度集中的做法叫做“有意注意” 。
与之相对地， 听到声响， 突然回头， 予以注意， 这就叫“无意注意” 。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作2、 成败取决于“最后1%的努力” （续上） 工作中要做到“有意注意” 相当困难。
需要靠平时不断训练、 养成习惯才行。 如果不论做什么事情都能贯彻“有意注意” ， 那么， 不仅能大大减少差错和失误， 而且当问题出现时， 也能够立即抓住问题的本质， 迅速予以解决。 不管多么细小的工作都要用心去做， 投入100%的力量。
正是因为贯彻了这样的“完美主义” ， 才使京瓷在不断创造新产品的同时， 获得了持续的成长和发展。 （温馨提示：
本小结结束）
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作3、 橡皮绝对擦不掉的错误 能做成事业的人， 都是掌握了“完美主义” ， 并将它贯彻始终的人。 这不只是限于制造业， 所有的行业、 所有的职位都适用这一条规则。 京瓷还是小企业时曾发生过这样的事。 当时， 我在会计方面有不理解的地方， 就一一向财务部长提出疑问。这让他大伤脑筋， 我提的都是“财务报表怎么读” 、 “复式簿记的处理方式” 等这样的问题。
一个连会计的“会” 字都不认识的人却提出了这么多形形色色的问题， 那位年长的财务部长每次都露出不悦的神情。
不过我虽然年轻， 却是他的上司， 他也不好太敷衍了事。
“常识都不懂， 尽提些幼稚的问题， ” 他内心一边这么想， 一边勉强应答。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作3、 橡皮绝对擦不掉的错误（续上） 有一次， 这位部长说明的数字我无法接受， 我连连追问， 弄得他非常窘迫， 无言以对。
最初他看我是外行， 不把我放在眼里， 但在我再三追问之下， 证明他的数字有误。
他大概也感到不对头， 轻轻地说了几句“对不起” ， 赶紧拿来橡皮将错误的数字擦去。 对他的这种做法， 我实在难以容忍。 只要一个文字， 一个数字错了， 就有可能造成工作上的致命后果。
这一点他毫无意识。
如果这种性质的事发生在新型陶瓷的制造过程中，会造成无法挽回的严重损失。 所以， 当时我大发雷霆， 狠狠地批评了他。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作3、 橡皮绝对擦不掉的错误（续上） 当会计的人， 为了 便于擦改数字， 先用铅笔写， 发觉错了 就用橡皮擦掉再重写， 他们认为没什么大不了。
正因为以这种心态做事， 所以非常简单的错误却总是改不过来。 发生了错误用橡皮擦掉、 重新再写就行了， 抱有这种想法的人不在少数。 但是， 在工作中有很多用橡皮绝对擦不掉的事情， 而且， 抱着“错了改改就行” 这种想法做事， 小的失误就会频繁发生， 其中就隐含了导致无法挽救的重大错误的危险性。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作3、 橡皮绝对擦不掉的错误（续上） 无论何时何事， “错了改改就行” 的想法绝对不能允许。
平时就要用心做到“有意注意” ， 不允许发生任何差错。
贯彻这种“完美主义” 才能提高工作质量， 同时提升人自身的素质。 （温馨提示：
本小结结束）
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作4、 最重要的是“注重细节” 工作要想做到“完美无缺” ， 就必须注重细节。 我学会这一点， 是在新型陶瓷研究开发刚开始后不久。
新型陶瓷的粉末在进行混合时要使用罐磨机—— 一种陶瓷器具， 其中放入球形石块， 罐磨机转动时石块滚动将原料粉末细化。 某一天， 我的一位前辈技术员坐在清洗场上， 用刷子仔细洗刷罐磨机中的石块。
这个人一贯工作认真， 但沉默寡言， 一点不引人注目， 正如此时他又在默默地做着清洗石块这样简单枯燥的工作。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作4、 最重要的是“注重细节” （续上） “爽爽快快洗了不就行了吗？ 这么做不是不得要领嘛！
” 我一边嘟囔一边就想走开了。
但是我想了想， 突然停下了脚步。
我开始用心观察， 只见他正用刮刀将石块中的粉末剔除。
石块常会产生缺损， 在凹陷处就会粘附上前一次实验用的粉末。
这位前辈用刮刀仔细将粉末刮除后， 再用刷子用心清洗。 不仅如此， 他还用挂在腰间的毛巾将洗过的石块擦拭得干净光滑。 看到这种情景， 我的头上好像挨了 一棒， 受到了 很大的冲击。 由于新型陶瓷的性质非常细腻， 因此罐磨机中残存的粉末就会成为新试验时的“杂质” ， 阻碍原料的精确混合。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作4、 最重要的是“注重细节” （续上） 因此， 每天实验结束后， 用过的器具都必须用水洗干净。
当时我认为清洗石块不过是一件杂差， 与研究开发没有直接关系， 所以清洗作业每次都草草了 事。
因为草率从事， 混入杂质， 所以总是达不到预期的效果。
此时此刻， 我终于明白了， 我为自己感到羞耻， 并进行了深刻的反省。 做好工作必不可少的认真态度——前辈具备， 我却缺乏。
这件事意味着什么呢？ 第一， 必须注重细节。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作4、 最重要的是“注重细节” （续上） 清洗实验用的器具， 这好像是杂差， 是很单纯的作业， 但是正因为是单纯的作业， 就更有必要精心做好。
德国有句格言：
“神寄宿在细节处。
” 事物的本质决定于细节， 美好的事物产生于注重细节的认真态度。 第二， 比道理更重要的是重视经验。 翻阅无机化学的教科书， 关于新型陶瓷， 书上写着：
将氧化铝、 氧化硅、 氧化铁等原料混合， 成型， 高温烧结。 确实， 从理论上讲， 书上写得不错， 但实际上并不那么简单。
不亲临现场， 不亲自动手， 不反复试验推敲， 许多事情都弄不明白， 罐磨机的清洗就是一例。
只有把理论和实际结合起来， 才可能把技术开发做得非常出色。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作4、 最重要的是“注重细节” （续上） 第三， 不厌其烦， 持续、 专业地工作。 无论做什么工作， 只有天天持续努力才会进步。
即使是清洗， 这种简单枯燥的工作， 在天天持续努力的过程中也能够积累非常有用的技术和经验。
如果讨厌做这样的努力， 缺少“持续力” ， 那么要做出优良的产品， 要完成让自己和别人都满意的工作， 是不可能的。 这些涉及工作本质的基本理念以及劳动的基本态度， 就是在这位默默工作的前辈身上学到的。 （温馨提示：
本小结结束）
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作5、 制作“会划破手的” 崭新的产品 产品必须是“会划破手的” 、 崭新的。
我一直这么想。 所谓“会划破手的” 、 崭新的产品， 就是要像刚做出的崭新的纸币那样， 手感、 质感都很好， 美观悦目， 无可挑剔。
“会划破手的” 这个词， 是用来形容有价值的产品的、 我自己个性化的语言。 为了用陶瓷制作半导体封装（将用于电子设备的半导体基板封装， 以保护基板不受外界环境的影响， 同时又能接续电流）
， 我们京瓷公司由一位工程师牵头， 组成了 一个研究小组， 负责推进这一项目。 这项研发工作， 需要高精的技术， 需要多道严格的作业工序， 这些都是京瓷从未有过的。
仅仅做出样品的过程， 就花费了难以想象的时间和辛劳。
十、 第五章：追求“完美主义” ——怎样才能出色工作5、 制作“会划破手的” 崭新的产品（续上） 这位工程师...
篇三：干法第五章总结
读后感心得体会稻盛先生说，要想度过一个充实的人生，只有两种选择：一种是从事自己喜欢的工作;另一种是让自己喜欢上工作。以下是聘才网小编为大家精心推荐的《干法读后感心得体会》，欢迎阅读收藏，希望对您有所帮助。
干法读后感心得体会一：
“日本经营之圣”稻盛和夫先生的《干法》一书以当今时代年轻人，人生观、劳动观、工作观的偏离和缺失为历史背景，结合自己传奇一生的实践经验，详细阐述了人生价值、人生的意义，工作的目的、方法、境界，以及如何把枯燥的工作转变为是对人生的一种“修行”，如何把工作由痛苦的深渊转变为幸福的源泉，如何通过工作提升自己的心志，磨练自己的意志，如何享受工作的快乐，获得事业的成功，人格的精进，从而实现人生价值、享受人生快乐。
《钢铁是怎样炼成的》一书中有这样一段话：“人的一生应当这样度过:当回忆往事的时候,他不至于因为虚度年华而痛悔,也不至于因为过去的碌碌无为而羞愧…..”这段话值得深思，《干法》一书的开头就告诉我们，人生短暂，必须过有价值的一生、成功的一生。诚然，每一个人都想成功，都想得到别人的认可与尊重，都想活得更有价值和尊严。然而，这些并非轻易得来，它需要不断的“修行”;我们知道每一个成功的人士都有许多优秀品质，比如：沉着、冷静、
忍耐、魄力、远见、责任心、胸怀、勇敢….等等等等，这些品质并非与生俱来，而是从磨练中来。所有成功人士都是经过不懈努力，历尽艰辛，埋头苦干、卧薪尝胆、起伏不定等无数磨砺，在这个过程中塑造了其完美的人格， 而有了完美的人格，才有了成功的基础，努力工作只对眼前有效， 而人格对一生有效，而努力工作恰恰是磨练人性、磨砺意志、自我实现、完善人格的“精进”的道场，能够成就自己厚重的人格，沉稳的处世态度。那么在工作中我们如何具体操作呢?结合此书，我进行了如下总结：
1、 树立正确的工作观和劳动观：工作是人生最尊贵、最重要、最有价值的行为，是磨砺人性的重要方式。
、学会享受工作带来的快乐：我们有过工作带来的快乐吗?肯定有过，当我们第一天参加工作时，当解决一个问题时，当领到第一份工资时，当我们攻克了一项技术难关时，当拿到奖品时，当受到别人赞许和认可时….然而为什么快乐没有充满每一天呢?我想应该是对“道”的认识不够深刻，其实工作中不是缺少快乐而是缺少发现，我们需要学会享受工作成绩带来的快乐，享受进步的快乐。为每一小步成功而庆祝，增加自己的勇气和信心和动力，更好的开始下一步。同时，我们也要善于发现工作中失去的快乐、发现工作过程中的快乐，《道德经》云，“有无相生、难易相成，常无以观其妙，常有以观其缴，玄之又玄，观妙之门”。所以，
工作中遇到的难、易，成、败，好、坏等各种状态的变来变去，我们应当学会享受这种过程，只要我们在努力在前进，把自己的一生奉献给一门职业，把工作看作一门艺术，时时处处欣赏自己，欣赏工作中的艺术之美。
、调整心态热爱工作、热爱产品：只要喜欢了工作，就能不辞辛劳，不把困难当困难，埋头工作。只要一心一 意埋头工作，自然而燃就能获得力量，有了力量，就一定能做出成果，有了成果，就能获得大家的好评，获得好评，就会更加喜欢工作。这样良性循环就开始了。坚信，我是可以爱上目前的工作的，也是可以做出成绩的。爱工作后，爱产品，就像爱自己的孩子一样爱产品，而在别人眼里可能会认为你是偏执狂，而你要学会享受这一点，因为，他们根本无法体会你痛苦的快乐。倾听产品的声音，学会从细节处观察孩子的病痛。
、相信自己：相信每一个人都具有非常大的潜力，要定高目标; 无论什么事，只要用心去做，用心思考，都可以取得意想不到的成果，如果连想都不能大胆一点，那我们将原地踏步，毫无成绩。相信事都是人做的，别人能做好的，我们也能做好。学会说“没问题”，要用将来的能力去衡量自己，勇敢接受眼下没能力做好的事，将来才会有这个能力。成为勇于在斡旋中心工作的人，要有格局，格局决定命运。
、“忘我”是一种享受，也是一种工作状态：全身投入、
聚精会神、精益求精、孜孜不倦，是一种“忘我”的“修行”境界，是一种自己才能真正体会到的快乐。极度认真的工作，不仅可以磨练意志，还可以扭转人生，可以改变生活，可以改变人生。全身心的投入工作，那么不管面临多么大的困难，神一定会帮你，事情一定能成功。同时，可以稀释三毒 “欲望 恼怒 愚痴”;可以磨练灵魂，铸就美好心灵，有了美好心灵，就会很自然地去想好事，做好事，为社会，为他人着想，并落实在行动中，你的命运就一定会向好的方向转变，提升人生价值。
、培养潜意识：反复体验和强烈刺激能够将好的愿望、思想、习惯、判断、文化、价值观融入潜意识，一旦进入潜意思，他将指导以后的正确的判断和行为。
、培养预见性能力：1)、要有激情、梦想和做成这件事的强烈愿望。2)、要有丰富的经验积累。3)要有丰富的想像力。4)要深思各种细节、环境、背景、链条、用户等各种细节，判断出将来的状态。通过仔细观察、感觉感受当下，磨练自己的敏锐度(对任何事务的敏锐度)和预见性。
、相信持续和坚持的力量：阿里巴巴董事局主席马云有句名言：“今天很残酷，明天很残酷，后天很美好，但大部分人会死在明天晚上，而见不到后天的太阳。”英雄所见略同，稻盛和夫先生也认为，当遇上难以克服的困难，当你自己觉得“已经不行了”的时候，没准突然间就会柳暗花明，
新的开始，新的希望，实现了凤凰涅盘。要活在当下，享受痛苦。只要努力修行，付出不亚于任何人的努力，神就会降临。要有坚强的意志和锲而不舍的精神。
、勇于面对各种苦难和遗憾：道德经云：“飘风不终朝，暴雨不终日”，苦难不会没完没了，当然幸运也不会永远持续。得意时不忘形，失意时不消沉，每天每日工作，这比什么都重要。帮助成长的恰恰是自己的敌人，而最大的敌人往往就是自己。认定自己的梦想，哪怕是险峻高山也要垂直攀登。当你勇敢地面对困难和挫折时，当你用心地去体会困难和挫折时，你发现困难已被克服，挫折感已不再。
人生的遗憾都是神赋予每个人的必然经历，神关注的是你如何面对它，如何在将来避免它。如果自己越是陷入于对过去的无休止的懊恼和自责，不能自拔，面对你的可能又是一场痛苦的折磨，只到你成熟;我们无法挽留遗憾的发生，过去的将永远的成为了过去，只有从遗憾中汲取教训，用微笑去面对明天。历史没有假设，同样人生也没有，发生的就是必然的。拂拭掉心中感性的烦恼，抬头挺胸向前看，朝着新的方向，采取新的行动，就看我们如何面对它。
10、活在当下，坚持每天进步一点：
持续的进步总会实现积累。即使每天的进步微不足道，但若经过十年的积累，就一定可以孕育巨大的变化。不满足于现状，时刻不忘记做得更好。
如果明年的你相对于今年的你，你不是更加喜欢
自己，明年对你来说还有什么意义?
11、高要求：不要给工作，给错误，给自己留任何后路，留后路必后患。如果你不能保证你做的工作 100%没问题，那 100%有问题。
如果你不能保证你的产品 100%没问题，那100%会出问题。不要留后路和心存侥幸。
12、关注细节、追求极致、追求完美。把产品作为自己的孩子，让每一个细节都完美无缺，至善至美，像一件艺术品一样给人带来美好的感受。
13、天天反省：树立正确的价值观后，要每天反省自己，是否潜意识中做了出格的举动，如果有尽早改正，不要等偏离太远。竭尽全力，拼命工作，再加上 天天反省，才能为你的完美主义画上最美的句号。抑制自我， 释放真我，让得他之心活跃起来，这样的作业就是 反省。
这样，我们的灵魂就会被净化，就会变得美丽，更高尚。
14、创新：杜绝思维的局限性，为什么有很多外行可以做出意不到的成绩，原因在于其敢想，敢于突破 ，突破局限思维。事情不分大小，只要研究创新，就能做到最高境界，成为此领域的专家。无人涉足的新路，尽管寸步难行，却可以有新的发现和巨大成果。梦想是方向，是舵手，技术创新是发动机。
15、动机至善，私心了无：必须全神贯注、全力以赴，用高尚的思想和强烈的愿望不断描绘心中的蓝图，如果这种
思想和愿望是高贵的、美好的、纯粹的、并且以一贯之。它就会发挥最大的力量，实现人们认为无法实现的计划和目标。
好的思想就是“动机至善，私心了无”,只要抱着纯粹的、美好的、强烈的愿望，付出不亚于任何人的努力，那么，任何困难的目标都一定能够实现。心地肮脏的人因为害怕失败而不敢涉足的领域，心灵纯洁的人随意踏入就轻易获胜，这样的事例并不鲜见。原因是， 心灵纯洁的人总是神定气闲，他们总是以更为明确、更强有力的目的和意识来引导自己能量发挥的方向。
综上所述，稻盛和夫先生的《干法》一书不仅告诉我们应该追求有价值的一生，还告诉了我们许多具体方法，不禁让人感慨：“人生短暂，我们每一个人，要不断反省人生，寻找人生价值，寻找心灵归宿，寻找修行方法，感受人生快乐，坚信我们生活在一个平衡的、公平的宇宙空间，学会生存、学会付出、学会助人、为它人谋福祉;相信自己的任何经历都是对心志的考验，聚精会神，专心精进，寄托心灵，发现工作中的美与艺术，坚持自己的偏执狂，享受别人的嘲笑与不解。树立理想和梦想，确定目标， 埋头苦干，收获精彩人生!”。
干法读后感心得体会二：
读完《干法》后，我受益良多。不得不惊叹不佩服日本人的百折不挠，精益求精的品质。稻盛先生的这本《干法》
朴实厚重，虽无过多语言，却能一针见血点到自己内心的深处。这是一本非常好的书，一本让我人生醒悟的书，一本让我人生奋斗的书。
从学校毕业出来到单位工作，在日复一日的重复过程中，渐渐的迷失了自己，不知道工作的目标是什么，人生的意义在哪里。一直把做好工作看成是对生活负责的一种态度，只是尽自己的努力做好份内工作。读了稻盛先生的《干法》，忽然明白了自己的目标和意义：工作的目的是为了不断提升自己的心志。工作不但能起到锻炼心志、提升人性的作用，长期不懈的工作还可以磨砺心志。工作是一个施展自己才能的舞台，我们寒窗苦读来的知识，我们的应变力、决断力、适应力、协调能力都将在这样的一个舞台上得到展示。将自己的一生奉献给工作舞台，埋头苦干，孜孜不倦，这样的人最有魅力。
稻盛先生说，要想度过一个充实的人生，只有两种选择：一种是从事自己喜欢的工作;另一种是让自己喜欢上工作。能够碰上自己喜欢的工作，这种机率恐怕不足千分之一、万分之一。与其寻找自己喜欢的工作，不如先喜欢上自己已有的工作。喜欢自己的工作，就能忍受任何艰苦;只要不懈努力，任何事情都能成功。卡耐基曾经说过：“除非喜欢自己所做的工作，否则永远无法成功。”在我们周围，听到的多是报怨和无奈，谈得最少的是工作的开心和乐趣。其实不
管自己处在何种境遇，都要抱着积极的心态朝前看，任何时候都要拼命工作，持续努力，这才是最重要的。与此同时，对每天做过的事情，老老实实地进行反省，就可以避免工作上的失败，并能够不断地完善自我。无论遇到什么事情都要懂得感恩，既然选择了这份工作这个岗位，就必须认认真真地接受它的全部，包括它好的和不好的，持有随时感恩的心态非常重要。
我们在对待工作的时候，总是说尽力而为;遇到困难的时候，总是说尽力而为。我们用这种说法来原谅自己，替自己不能更努力进行辩解。做任何事情不能本着尽力而为，竭尽全力才应是我们工作所要达到的境界。古语云：世上无难事，只怕有心人。我们要在工作上树立必胜的信心，在战略上藐视困难，在战术上重视困难，付出自己百分之百的努力，成功的机会才不会错过。遇到困难，正视困难，克服困难，解决困难，到完成工作任务的过程，其实就是一个自我的心理斗争过程，就像稻盛先生所说：“当你竭尽全力时神灵将会现身。”只有付出“不亚于任何人的努力”才是人生和事业成功的最强动力。专心致志于一行一业，不腻烦、不焦躁，埋头苦干，不屈服于任何困难，坚持不懈;只要你坚持这样做，就能造就优秀的人格，就能让你的人生开出美丽的鲜花，结出丰硕的果实。
我们要珍惜今天所拥有的工作权利，珍惜自己来之不
易的工作岗位，在工作中不找任何借口，积极主动，敢于挑战自我，坚持不懈地努力，挖掘自身工作的潜在职责，主动承担责任。做自然型人才，高调自己的目标，低调自己的姿态。悄悄地把愿望装进潜意识，用不亚于任何人的努力创造非凡。开创一种与原来截然不同的新生活。
干法 - 图书目录
第一讲
知行合一：企业的人才的基本要求
懂得自我判断，发现自己的真正价值
学会融会贯通，在不同的岗位发挥特长
能做好小事情，眼高手低的人不受欢迎
设计自己的人生，把梦想和现实相加
第二讲
好习惯：优秀人才的基本素质
让学习成为一种生活习惯
爱抱怨的人是无能的
主动寻找干活的理由
优秀的人才从来不悲观
坚持是一种可贵的品质
第三讲
好心态：非凡人生的重要基础
对所有的事情都一丝不苟
要学会看到他人的长处
尽职尽责是最好的学习方法
欣赏别人是为自己铺路
依赖别人是在否定自己
好的心态是人生重要的基础
第四讲
发现自我，让平凡的自己破茧重生
培养自我造化的能力
建立自我激励的信心
制定自我超越的计划
“自我”的不同境界
第五讲
自我优化、个人升级才能等来升职
为什么...
篇四：干法第五章总结
交通大学硕士学位论文C<, 4>F<, 6>在130nm产品中接触孔/通孔干法刻蚀工艺中的应用姓名：邱鹏申请学位级别：
硕士专业：
软件工程指导教师：
程秀兰; 陈晓军20080508
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Ｃ ４Ｆ ６在 １３０ｎ ｍ产品中接触孔／ 通孔干法刻蚀工艺中的 应用 要 摘
随着设计技术进一步发展， 通过以 Ｃ ４Ｆ ６为基础的刻蚀制程气体在Ｍ Ｅ Ｒ ＩＥ 技术 ｅ Ｍ Ａ Ｘ反应腔室的应用， 可以扩大 ｅＭ Ａ Ｘ机台绝缘体材料刻蚀 １３０ｎｍ及以下制程的窗口。Ｃ ４Ｆ ６有比 Ｃ ４Ｆ ８更高的对光阻和氮化硅（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）的选择比和更宽的刻蚀终止窗口。
通过优化工艺窗口， 其对 Ｓ ｉ３Ｎ ４的选择比可以达到 ３０：
１， 使得有能力刻蚀低或高深宽比的结构， 大于 ８７° 角的刻蚀能力可以很好的控制 Ｃ Ｄ和刻蚀轮廓。
而且现有机台已经有Ｃ ４Ｆ ６气体管路， 无须改管安装。
通过正交实验， 对 ０ ．１３ｕ ｍ绝缘体干法刻蚀的主要参数（ 射频， 压力，Ｃ ４Ｆ ６，Ｃ Ｈ Ｆ ３）进行优化研究， 并得出结论：
Ｒ Ｆ功率为影响刻蚀速率的主要因素； 压力为影响均匀性的主要因素； 选择比主要 由气体流量决定， 通过调节气体流量的比率可改善选择比。
在此基础上我们对 ０ ．１３ｕ ｍ Ｃ Ｔ ／ Ｖ ｉａ刻蚀性能进行近一步的实际应用实验研究，用不同的刻蚀参数刻蚀产品，通过切片进一步分析和确认窗口。
最后我们通过测试结果（ Ｃ Ｄ ， 切片， 缺陷， Ｗ Ａ Ｔ ， 良率）分析， 证明了Ｃ ４Ｆ ６应用于新工艺开发比现有 Ｃ ４Ｆ ８成功提高了窗口和良率。
关键词：
Ｃ ４Ｆ ６气体， 氮化硅选择比， 刻蚀率， 绝缘体刻蚀
3
C4F6 CHEMISTRY APPLICATION IN 130NM CT/VIA DRY ETCH
ABSTRACT
An advanced Dielectric etch process window with C4F6 based chemistry has been developed for the device technology of 0.13 um and beyond using an eMax chamber utilizing an MERIE technology. Higher nitride/ photoresist selectivity and wider etch stop window have been achieved than C4F8. By improvement etch process window, the new etch process is capable of etching both low and high aspect ratio structures with up to 30:l nitride selectivity, greater than 87° profile, can improve CD and etch profile. And the already existing C4F6 gas tube in eMAX, we need not to change gas system. A 0.13um process with CT/Via etch application has been developed using in eMAX dielectric etch chamber. Using C4F6 CT/Via etch based experiment data. The trade-off between nitride corner selectivity and etch stop margin was observed for most parameters. Wafer temperature, chamber pressure, RF and reactive gas flow are the most dominant tuning knobs for nitride/photoresist selectivity and etch stop window. Finally, we did electrical tests, WAT and yield analysis， and the result confirmed that the new Process developed with C4F6 is better performance than C4F8.
KEY WORDS: C4F6 gas, nitride selectivity,etch rate,dielectric etch
1
第一章 前言
1.1 论文背景——新技术开发的意义 Ｃ ４Ｆ ８在半导体刻蚀制造中应用非常广泛， 它主要应用于绝缘体材料刻蚀如通孔刻蚀（ Ｖ ｉａ ），接触孔刻蚀（ Ｃ ｏ ｎ ｔａ ｃｔ）
， 高深宽比孔刻蚀（ Ｈ Ａ Ｒ ）， 大马士革结构刻蚀（ Ｄ ｕ ａ ｌ Ｄ ａ ｍ ａ ｓｃｅｎ ｅ）， 但随着工艺技术的提高到 ０ ．１３ｕ ｍ及以下时， Ｃ ４Ｆ ６有逐渐代替 Ｃ ４Ｆ ８成为绝缘体材料主刻蚀气体的趋势， 因为它有比 Ｃ ４Ｆ ８更高的对 １９ ３ｎ ｍ光阻（ 图 １）和氮化硅（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）的选择比， 从而可以很好的控制 Ｃ Ｄ和优化刻蚀轮廓［ １］。
另外 Ｃ ４Ｆ ６比 Ｃ ４Ｆ ８也更加环保， 可以减少对臭氧层的破坏［ ２］。
所以， 随着 Ｃ ４Ｆ ６气体应用于 ｅＭ Ａ Ｘ机台中， 从那些方面去优化窗口成为本次论文研究的意义。
图 １ 随着 Ｃ ／ Ｆ比的增加对光阻的选择比增大 价格降低是另一个原因， 大家都知道在半导体制造中的设备相当昂贵， 随着 ＩＣ设 计 和 制 造 的 发 展 ，根 据 ＩＴ Ｒ Ｓ （ Ｉｎ ｔｅｒｎ ａ ｔｉｏ ｎ ａ ｌ Ｔ ｅｃｈ ｎ ｏ ｌｏ ｇ ｙ Ｒ ｏ ａ ｄ ｍ ａ ｐ ｆ ｏ ｒ Ｓ ｅｍ ｉｃｏ ｎ ｄ ｕ ｃｔｏ ｒｓ），每两到三年芯片制造就会达到一个新的技术节点。
面对这个事实，很明显在目前的工业发展阶段， 中国 ＩＣ工业面临的主要挑战之一就是：
如何能在技术升级的同时保持低成本的优势。
本课题的绝缘体材料刻蚀的设备 ｅＭ Ａ Ｘ机台是中芯国际目前 ８寸厂最主要的绝缘体材料刻蚀设备， 该设备在 ０ ．３５ｕ ｍ ，０ ．２５ｕ ｍ ，０ ．１８ ｕ ｍ工艺技术中有优秀的表现， 但在 ０ ．１３ｕ ｍ技术层上遇到了技术瓶颈， 在设备供应商应用材料公司的官方答复中明确指出改设备的技术只能保障到 ０．１８ｕ ｍ技术， 没有对
2 ０．１３ｕ ｍ及以下技术的支持。
而要购买一台能支持 ０．１３ｕ ｍ的绝缘体材料刻的新设备，市场价格要超过两百万美金。
所以开发新工艺， 提高现有设备的能力， 对公司战略和运营成本能起到控制作用。
1.2 研究目 的——开发新工艺提高现有设备的能力 的意义 在中芯国际半导体制造中 MAX 机台用作绝缘体材料刻蚀最主要机台， eMAX机台（图 2）
自从最初的平行电极性等离子体反应室被用于芯片制造以来， 随着芯片尺寸的不断扩大及图形尺寸的不断减小， eMAX 机台平行电极等离子刻蚀设备在过去 20 年已得到了很大的改进， 虽然其原理还是一样， 但最大的改进在反应腔室周围加上磁场（ Magnetic Enhanced RIE,MERIE）。
由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动， 磁场的存在将直接导致反应气体电离洁面的增加， 磁场的引进会增强离子浓度， 并使得等离子刻蚀技术可以在低气压下得以运用（<10Mt）。
由于离子浓度的增加， 撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低， 从而提高刻蚀选择比。
图 ２ 应用 材料公司 的 ｅＭ Ａ Ｘ刻蚀机台 但随着集成电路最小尺寸不断减小、 集成度的不断提高， 对刻蚀设备的要求也越来越高。
当被刻蚀的线条宽小于 0.13um 时， eMAX 机台在控制刻蚀性能遇到了挑战， 通孔和接触孔刻蚀 CD 的减小带来了刻蚀制程窗口的不断变小， 影响到了刻蚀的性能， 降低了产品在大规模生产中的稳定性、 提高了缺陷率。
所以根据现有的理论研究及生产需要表明， 必须对 eMAX 机台做一些改进， 以满足芯片生产技术进一步发展的需要。通过 C4F6气体在 eMAX 反应腔室的应用， 可以扩增大制程的窗口[3]。其对 Si3N4的选择比可以达到 30：
1， 使得有能力刻蚀高深宽比的结构， 大于 87° 角
3 的刻蚀能力可以使轮廓更加垂直。
1.3 论文结构 论文的结构如下：
第一章 前言 本章介绍了本论文的背景和研究的目的， 开发新工艺以提高现有设备的能力，节约设备成本。
第二章 eMAX 机台和 C4F6气体简介 本章对 ｅＭ Ａ Ｘ机台作了简单介绍， 从绝缘体刻蚀机台的发展历史到 ｅＭ Ａ Ｘ机台的结构和基本工作原理。
接下来介绍了 Ｃ ４Ｆ ６与 Ｃ ４Ｆ ８基本刻蚀原理和刻蚀效果的对比分析， 包括工艺参数、 大气污染等。
第三章 介质层干法刻蚀原理 本章主要介绍了介质层干法刻蚀的原理， 等离子刻蚀反应器的历史发展和种类，刻蚀工艺对等离子体刻蚀的基本要求， 特别论述了刻蚀选择比的获得方法。
第四章 新的介质层刻蚀工艺的开发 本章阐述了 0.13um 氧化膜干法蚀刻目前遇到的主要问题。
应用正交实验， 进行了蚀刻速率、 均匀性、 选择比等主要蚀刻参数的优化， 得出主要工艺参数的设置方法和理想条件的调整方法以及优化。
在此基础上我们对 0.13umCT/Via 刻蚀性能需要近一步的实验实际应用研究， 用不同的刻蚀参数刻蚀产品， 通过切片进一步分析和开发窗口。
第五章 工程流片验证 本章通过产品的实验对新开发的C4F6制程和原有的 C4F8制程刻蚀产品进行了比较， 包括 CD、 切片轮廓、 工艺缺陷、 WAT 测试和良率， 得出 C4F6气体用于氧化物刻蚀优于 C4F8。
第六章 总结 本章对全文的内容进行了总结， 成功开发了 eMAX 机台 0.13umCT/Via 氧化膜干法刻蚀工艺。
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第二章 ｅＭ Ａ Ｘ机台和 Ｃ ４Ｆ ６简介 ２． １ ｅＭ Ａ Ｘ机台的简介 ２． １． １ 刻蚀设备的发展 最早报道等离子体刻蚀的技术文献于 1973 年在日本发表， 并很快引起了工业界的重视， 至今还在集成电路制造中广泛应用的平行电极刻蚀反应室（ Reactive Ion Etch-RIE）
是在 1974 年提出的设想。
这种反应室的剖面示意图和重要的实验参数，它是由以下几项组成：
一个真空腔体和真空系统， 一个气体系统用于提供精确的气体种类和流量， 射频电源及其调节匹配电路系统[3]。
在平行电极等离子体反应腔体中， 被刻蚀物是被置于面积较小的电极上， 在这种情况， 一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成， 并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面， 这种离子轰击可大大加快表面的化学反应， 及反应生成物的脱附， 从而导致很高的刻蚀速率， 正是由于离子轰击的存在才使得各向异性刻蚀得以实现。
自从最初的平行电极型等离子体反应室被用于芯片制造以来， 随着芯片尺寸的不断扩大及图形尺寸的不断减小， 平行电极等离子刻蚀设备在过去 20 年中已得到了很大的改进， 最大的改进在反应腔室周围加上磁场 （Magnetic Enhanced RIE,MERIE）。由于电子在磁场和电场的共同作用下将作圆柱状回旋运动而不是电场下的直线运动， 磁场的存在将直接导致反应气体电离截面的曾加， 磁场的引进会曾加离子密度，并使得等离子刻蚀技术可以在更低气压下得以运用 （<10mT）
。
由于离子密度的增加，撞击表面的离子能量也可以在不降低刻蚀速率的情况下被降低， 从而提高刻蚀选择比。
当被刻蚀的线条宽小于 0.25um 时， MERIE 在控制刻蚀的性能遇到了挑战， 于是电感耦合等离子刻蚀（ Inductive Couple Plasma-ICP）
便应运而生。
ICP 反应室是在
5 RIE 反应室的上方加置线圈状电极， 并通过电感耦合达到曾强等离子密度的效果。目前在高端芯片生产中的导电体刻蚀基本上都采用 ICP 反应腔体技术， 其优点是可以用上下两组电极分别控制离子的密度和能量以达到最优化的组合， 这也是 MERIE系统所无法比拟的。
2.1.2 eMAX 刻蚀设备简介 刻蚀设备对刻蚀工艺技术有很大的制约作用,即一代设备造就一代技术 。
本实验所用设备为 MERIE 型 eMAX。
eMAX 刻蚀机台主要组成部分有：
操作系统、 RF 系统、 气柜系统、 真空系统、 腔体系统 、 冷却系统、 终点侦测系统等。
RF 系统决定等离子体的产生， 对蚀刻产生明显的影响， eMAX 刻蚀示意图如图 4 所示。
其中 RF 腔体系统反应腔体里气体的流动过程、 腔体内的压力大小及分布也对刻蚀产生明显的影响。
Gas ShowerGas ShowerGas Shower 图 ３ Ｒ Ｆ示意图 终点侦测系统用来监测刻蚀工艺并停止刻蚀以减小对下面材料的过度刻蚀。
由于干法刻蚀选择比不及湿法刻蚀， 过刻蚀带来的后果较严重， 这使得终点侦测系统在干法刻蚀里显得很重要。
ｅＭ Ａ Ｘ为多通道终点监测系统， 由滤波器和光电二极管组成， 波长可选， 可 同时采用 Ａ ， Ｂ两个波长的光信号， 利用两个光信号强度的组合确定终点， 也可只选用一个波长。
WaferWaferUpper
ElectrodeUpper
ElectrodeUpper
ElectrodeLower
ElectrodeLower
ElectrodeLower
ElectrodeRF (Radio Frequency)RF (Radio Frequency)RF (Radio Frequency)ESCESCESC
6 2.2 C4F6 与 C4F8 刻蚀性能比较及相关研究 在氧化膜的干法刻蚀中， 长用到 Ｃ ４Ｆ ８，Ａ ｒ，０ ２，Ｃ Ｏ等气体， Ｃ ４Ｆ ８是主要的刻蚀气体，它在高电场下， 离化成等离子体和活性种（ Ｒ ａ ｄ ｉｃａ ｌ）， 包含 Ｃ Ｆ ＊ ，Ｃ Ｆ ２＊ ，Ｃ Ｆ ３＊等，Ｃ Ｆ ＊ ＋ Ｓ ｉＯ ２—Ｓ ｉＦ ４＋ Ｃ Ｏ ／ Ｃ Ｏ ２；Ａ ｒ是惰性气体， 一方面可以稀释反应气体， 一方面因为其大质量可以轰击被刻蚀体的表面， 加快刻蚀的速率； 在刻蚀过程中由于和光刻胶反应会生成大量的反应生成物， 为（ Ｃ － Ｈ ）ｎ聚合物， 用 Ｏ ２可以帮助除去它们［ ４ ］。
反应中， Ｃ Ｆ基团是最关键的因子， Ｆ是起主要刻蚀作用的， 但它和氧化膜（ Ｓ ｉＯ ２）和氮化膜（ Ｓ ｉ３Ｎ ４）反应， 速率相差不大， 因此刻蚀速率选择比低； 而 Ｃ的作用是生成（ Ｃ － Ｈ ）ｎ聚合物等， 优点是有利于提高刻蚀选择比， 缺点是过多的聚合物会在刻蚀过程中堵塞孔， 造成刻蚀中止（ Ｅ ｔｃｈ ｓｔｏ ｐ ）， 最终导致开孔不良。
所以， 做好他们的平衡至关重要。
可以添加辅助气体如 Ｃ Ｏ来平衡 Ｃ的比例， 也可以改变主刻蚀气体， 比如 Ｃ ／ Ｆ比， 如 ５０％ （ Ｃ ４ Ｆ ８）＜ ６３％ （ Ｃ ５Ｆ ８）＜ ６７ ％ （ Ｃ ４ Ｆ ６）。
图 ４ 常用 反应气体碳氟比 从图 ５可以看出， 要得到最高的刻蚀速率选择比， 最佳的反应气体是 Ｃ ４Ｆ ６气体。 实际上， 当刻蚀线宽从 0.18um 推进到 0.13um 及以下业界已经基本明确了 C4F6用于 eMAX 机台作为主刻蚀气体刻蚀绝缘体材料的发展方向。
与 C4F8相比它有诸多刻蚀性能上的优点(表 1) 表 １ Ｃ ４Ｆ ６ 在 ０ ． １３ｕ ｍ Ｖ ｉａ ／ Ｃ Ｔ 刻蚀中的优点 Criteria eMAX(C4F6) eMAX(C4F8) Process Time(s) 0.64x 1.0 Via/CT SiN Loss(nm) 1.0x 1.0
7 Guard Ring SiN Loss(nm) 0.75x 1.0 Resist Remaining(nm) 3.3x 1.0 Striations Minimal Minimal Microloading 0.5x
Etch Uniformity(%) 0.7x 1.0 CD Bias(nm) 0.33x 1.0 Etch Rate(Å/min) 1.35-1.55x 1.0 Damage,Arcing Low High 从表中可以看出， C4F6在 0.13um技术层面有诸多刻蚀上的优点。
C4F6有比 C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比， 这是很重要的两个优点， 因为随着器件尺寸推进到0.13um， 孔的 CD 要比 0.18um时小 30%左右， 同时一些膜层厚度也相应减少， 这就要求对那些关键膜层的选择比要高， 这样才能扩大刻蚀的窗口,提高刻蚀的稳定性。刻蚀速率的提高可以减少刻蚀所用的时间， 从而提高生产效率， 刻蚀均匀度和 CD bias 的提高会 CD 和器件稳定可靠， 提高良率和可靠性。
另外， 环境方面也是一个非常重要的因素。
使用温室效应系数低、 极有利于环保的气体的蚀刻设备及工艺技术估计将会...
篇五：干法第五章总结
第六章读后感欢迎来到本网站，下面是小编为大家搜集整理的《干法第六章读后感》，欢迎大家阅读与借鉴，希望能够给你带来帮助。
干法第六章读后感：
“创造性”地工作：每天都要钻研创新 “自新应似长江水，日夜奔流无歇时。”
自古以来，创新都是社会发展最强大的推动力。正是由于人类在各个方面、各个领域的不断创新，人类才得以从原始蒙昧状态进入今天高度文明的社会。创新是新的经济增长和价值倍增的关键所在，是企业发展的关键所 丈 在。如果不进行创新， 靴 产品没有独创性，没有 恿 特色，就很难在市场上 铺 立足。
人才胜于庸 趾 才，天才胜于人才。天 立 才最有竞争力。衡量天 靡 才的标准不是其他任何 狰 东西，而是创新。康德 氧 说：“独创性必然是天 胯 才的基本特征。”别林 钙 斯基认为：“天才永远 粗以其创造开拓新的、前 窑 所未有或无人意料到的 又 现实世界。”舒曼把人 刀 才与天才作了明确的区 脐 分：“人才进行工作， 弥 而天才进行创造。”
寒
创新，出没于世间任 郑 何一个领域。任何一项 把 伟大的成功，都少不了 辙 它的参与。不管你想在 腐 哪一个领域发展，都需 曳 要创新。
创新，可 德 以超越领域的局限，把 房 一个领域的成果放置另 盏 一领域。这种“放置” 现 ，就是在用途上的创新 峪 。可口可乐，原本只是 立 一种用于镇静治头疼的 财 苏打药水，有人创造性 耿 地将之作为一种饮料来 寨 卖，这就是今天征服世 泻 界、席卷全球的棕褐色 闹 饮料，铸造了每年创造 洼 几百亿美元财富的帝国 势 。
创新有时很简单 天才 逼 的精髓在于利用最简单 梁 的想法。
——贝玑
秩 欧洲一体化的创新，听 曳 来高深、玄妙，其实不 王 过是欧洲各国取消关卡 安 ，畅行无阻，币制统一 惩 之类，都是些一听就能 映 懂的东西。然而别人没 擅 认识到它的意义，只有 冗 莫尔一个人认识到了， 哨 并下决心去实践它。莫 润 尔的这个大创意，可以 疽 最好地保障欧洲和平， 谬 促进欧洲的发展，莫尔 灵 因此被尊为“欧洲之父 友 ”。
司马光儿时救 赠 伙伴的故事，妇孺皆知 价 。小伙伴掉到水缸里， 浮 眼看就要淹死了，别的 褒 伙伴呼叫大人来救，而 控 司马光拿起石头把水缸 右 砸烂，小伙伴马上就得 辩 救了。好的创意说出来 炉 很简单，很好理解。司 增 马光不过就是思考问题 侍 的角度不同，别人想的 哑 都是如何使人脱离水; 絮 而司马光反方向去想， 绦 想的是如何使水脱离人 森 ，创意不就出来了吗? 赤
创新，往往是简单 墨 的深刻。常人所困扰的 写 往往是复杂
的肤浅，许 制 许多多在本专业内研究 敦 几十年的专家穷其心血 栖而无大的建树，也多半 涸 是因为复杂的肤浅绊住 绒 了脚，捆住了手。
“扫 娄 地”改变人生
创新 唾 还需要对生活敏锐的观 谷 察力和感受力。同样坐 反 在苹果树下，牛顿可以 兰 发现万有引力定律，而 展 其他人则碌碌无为地等 伸 着吃苹果。个中差异就 帛 在于是否有敏锐的思考 砰 力。创新最需要的是强 腋 烈的好奇心所推动的认 蝗 真观察、思考和钻研。
事 所以，同样的岗位，不 匠 同的成就，因有着不同 证 的观察力和创造力，才 顺 有了迥异的人生。
将创 震 造发明导向成功的“正 要 确的地图” 1.问题学 娃 习
爱因斯坦说：“ 莉 提出一个问题往往比解 尹 决一个问题更重要，因 食 为解决问题也许仅仅是 糟 一个数学上或实验上的 醒 技能而已。而提出新的 慎 问题、新的可能性，从 贤 新的角度去看旧的问题 阵 ，却需要有创造性的想 肇 象力，而且标志着科学 腥 的真正进步。”
提 塌 出问题，预示着新的发 勋 现、新的突破。没有问 些 题的提出，就永远不可 未 能解决问题。
原复 尝 旦大学校长杨福家说：
载 最伤脑筋的是国外学者 跋 来访作报告交流时，下 奢 面的听众往往没有人提 攫 问，鸦雀无声。而国外 好 ，学生提问却极其踊跃 贤 ，场面热烈。我们的学 嗡 校都
是一个模式：教师 狠 在上面讲，学生在下面 齐 乖乖地听、记。这与创 洲 造性学习是格格不入的 圣 。
问题学习，不仅 来 指提出问题，还包括解 志 决问题。解决问题，能 竟 够最好地锻炼思维能力 拯 、创造能力。同时解决 瘸 问题的学习，还最能激 诚 发人思维、创新的积极 篮 性。杜威说：“如果给 掖 学生一种问题，这种问 泳 题的解决使他立刻得到 吸 一种成功的意思，和好 志 奇心的满足，他就要把 两 所有的能力都倾注到工 靴 作上去;目的自身就能 嗓 供给一种必要的刺激， 竹 使他自愿坚劳耐苦。” 孕
外行的长处是可以自由 缺 发想 2.批判学习
取 纵观科学发展史，会发 筋 现一个有趣的现象：外 粉 行往往产生大的创造， 斌 胜过所有的内行。为什 礁 么?就是因为内行的知 黔 识越多，越容易被本行 举 知识的条条框框所束缚 舱 ，而脑子灵的外行则不 犹 受束缚，视野开阔，则 囚 容易发现问题，产生大 瘤 创造。
进行批判学 舅 习，发展批判思维，就 早 可避免“所知障”，避 题 免现有知识的负作用， 冤 在拥有丰富知识的同时 慰 能够拥有自由飞翔的头 貌 脑。
3.研究学习
闭 停止当学生，马上开始 藤 研究。人们认为研究必 鸳 须要经过十几年漫长的 匀 学习才能做到，甚至认 镰 为要经验丰富的两
鬓斑 劫 白的人才能干好。可是 庶 ，事实充分证明，连几 龚 岁的孩子也有研究能力 呛 。美国的孩子，从上小 野 学低年级开始就搞起了 豫 “研究”，进行研究式 卡 学习。小学二年级的小 华 孩子竟然敢研究《中国 房 的昨天和今天》、《我 昼 怎么看人类文化》之类 携的大课题，每个课题都 懒 能用微机写出几十页的 鸡 小册子，能够熟练地在 虹 图书馆利用计算机和微 缄 胶片系统查找他所需要 葡的各种文字和图像资料 乞 ……从决定题目，到搜 妨 集资料，到研究写作， 羽 从始至终都处于独立研 彬 究状态。在这种独立研 照究过程中，可以最好地 告 培养创造精神、创造能 粗 力。大量事实都表明， 再 美国人从小就教孩子做 外 “研究”，这不仅是完 粳 全可行的，而且正是美 纲 国人的创造性、创造力 炙 胜于我们的重要原因。
叠
4.自主学习
有了 析 自学能力，就可以自主 泣 、独立地掌握创造所需 怎 的任何新东西、新本领 劣 。并且，自学能力是一 耶 种综合性极强的能力， 尤 它包括独立阅读能力、 交 独立思考能力、自我组 迟 织能力、自我监督能力 盎 ，包括高度的主体精神 漂 、自主精神、自强精神 斩 。而这些都是创新所需 则 要的，与创新有着内在 攒 的同一性。
很多富 靡 有创新性的杰出人才， 徘 并非学校所造就，他们 估很少获得正规教育的“ 恼 滋养”，但却通过自主 圭 学习而成功。
“不畏天 寺 命、不畏圣人、不畏大 累 人言”
一个人如果 铡 总是以周围的舆-论为 绅 转移，那么他是什么事 之 也做不成的。古往今来 世 任何一项创新，都离不 蝎 开“不畏天命、不畏圣 宇 人、不畏大人言”的勇 绽 气和胆量。一般人之所 硝 以没有创新，就因为严 啼 重地受到“怕”的制约 贤 ，怕别人的嘲笑，怕权 衡 威的评判，怕挫折失败 决 。要做到不畏圣人言， 遏 不畏大人言，不畏众人 匙 言，就必须有独智，能 剐 独行，有主体精神。
善 购 于拿来、善于借鉴
仙 创新需要独智独行，却 卸 并不要排斥他人的一切 抒 成果、一切思想。相反 裕 ，善于拿来、善于借鉴 蓄 ，站在巨人的肩膀上， 俘 往往会有奇绝的创新。
旷
我们要的是扬弃——取 尔 其精华，弃其糟粕。
敢 酣 于走“别人没走过的路 眯 ”
踩着别人的脚印 仁 前进，最终结果也只能 歼 是个“亚军”。
——培 汰 根
齐白石，本是个 泛 木匠，靠着自学，成为 督 画家，并且荣获了世界 止 和平奖。然而，面对已 苫 经取得的成功，他永远 诡 不满足，而是不断汲取 呆 历代名人画家之长，改 暇 变自己懒惰作品的风格 务 。他 60 岁以后的画明 氢 显不同于 60 岁以前。
召 70 岁以后他又一次改 佬 变。80 岁以后，他的 晒 画的风格再度变化。据 究 说，齐白石的一生，曾 梨 五易画风。正因为齐白 锡 石老人在成名后仍然马 盅 不停蹄，所以他晚年的 邀 作品比早期的更加成
熟 岂 ，形成独特的流派与风 产 格。成功后，扔去探索 食 ，向一条条没有走过的 遇 路进军，这才是王者的 责 风范。
一条没有走 戍 过的路，既是创新，也 这 是不断超越别人，更是 轩 无止境地超越自己的过 失 程。一条没有走过的路 粤 ，是未开辟的边疆，需 串 要敢于探索的创造精神 拉 。
创造时，目光要深; 裕 开辟时，目光要远。
旭
既然定了计划，就一 撮 定要实现。乐观构思、 瘫 悲观计划、乐观实行。
昧 这也是《干法》这本书 酒 我的最大收获。
